Литография Мазмұн маскасы
Өнімді енгізу
Экспозицияның жарық көзі импортталған ультракүлгін сәуле және жарық көзі пішіндеу модулін, кішкене жылу және жақсы жарық көздерінің тұрақтылығымен бірге қабылдайды.
Инверттелген жарықтандыру құрылымында жылудың жақсы ыдырауы және жарық көзі тығыз әсер етеді, және сынапты шамдарды ауыстыру және техникалық қызмет көрсету қарапайым және ыңғайлы. Жоғары үлкейту бинокулярлы қос өрісінің микроскопымен және 21 дюймдік экранға арналған, оны көруге болады
Қабақ алушы немесе CCD + дисплей, жоғары тураланатын дәлдік, интуитивті процесс және ыңғайлы жұмыс.
Ерекше өзгешеліктері
Фрагментті өңдеу функциясы бар
Тікелей байланыс қысымы сенсор арқылы қайталануды қамтамасыз етеді
Туралау алшақтықты және экспозицияның ар-айын сандық түрде орнатуға болады
Енгізілген компьютерді пайдалану + сенсорлық экран жұмысын, қарапайым және ыңғайлы, әдемі және жомарт компьютерді пайдалану
Жоғары және төмен тақтайшаны, қарапайым және ыңғайлы
Вакуумдық байланыс экспозициясын, қатты байланыстың әсерін, қысыммен байланыстың әсерін және жақындық әсерін қолданыңыз
Nano Imprint интерфейсімен
Бір қабатты, бір кілт, жоғары автоматтандыру
Бұл машинада жақсы сенімділік және ыңғайлы демонстрация бар, әсіресе, колледждер мен университеттердегі оқыту, ғылыми зерттеулер мен зауыттарға жарамды
Толығырақ
Техникалық шарғы
1. Экспурсия аймағы: 110 мм × 110 мм;
2. ★ экспозиция толқын ұзындығы: 365NM;
3. Ажыратымдылық: ≤ 1м;
4. Туралау дәлдігі: 0,8 м;
5. Туралау жүйесінің сканерлеу кестесінің қозғалыс ауқымы кем дегенде жиналады: Y: 10мм;
6. Туралау жүйесінің сол және оң жақ жарық түтіктері x, y және z нұсқауларында, x Бағытқа, ± 5мм, y Бағыттау: ± 5 мм және z Бағыт: ± 5мм;
7. Маска мөлшері: 2,5 дюйм, 3 дюйм, 4 дюйм, 5 дюйм;
8. Үлгі мөлшері: фрагмент, 2 «, 3», 4 »;
9. ★ Үлгі қалыңдығы үшін жарамды: 0,5-6 мм, ал 20 мм үлгілерін қолдайды (реттелген);
10. Экспозиция режимі: уақыт кестесі (кері санау режимі);
11. Жарықтандырудың біркелкі еместігі: <2,5%;
12. Dual Field CCD туралау микроскопы: масштабтау объективі (1-5 рет) + микроскоптың объективті объективі;
13. Үлгіге қатысты масканың қозғалыстың соққысы, кем дегенде, кездесуі керек: x: 5мм; Y: 5 мм; : 6º;
14. ★ Экспозицияның әсері:> 30 МВт / см2,
15. ★ Туралау позициясы және экспозиция позициясы екі станцияда жұмыс істейді, ал екі станция, екі станцияға арналған моторлы ауыстырғыштар автоматты түрде жұмыс істейді;
16. Байланыс қысымын нивелирлеу сенсор арқылы қайталануды қамтамасыз етеді;
17. ★ Туралау алшақтық пен экспозициялық алшақтықты сандық түрде орнатуға болады;
18. ★ nano imprint интерфейсі және жақындық интерфейсі бар;
19. ★ сенсорлық экран әрекеті;
20. Жалпы өлшем: шамамен 1400 мм (ұзындығы) 900 мм (ені) 1500 мм (биіктігі).
